“這是我們自主研發(fā)的MFC330系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，可以用于半導體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、高精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)?！?1月26日，蘇州愛拓利電子設備有限公司（以下簡稱“愛拓利”）總經(jīng)理楊兆寶拿著手中的流量計介紹。當日，他帶著“半導體級氣體質(zhì)量流量計的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目正式入駐吳江開發(fā)區(qū)半導體智能制造創(chuàng)新港。
此次開業(yè)的愛拓利工廠一期面積達1000平方米，內(nèi)部配備十萬級和千級潔凈車間、專業(yè)研發(fā)團隊和完善的服務平臺?！拔覀儜汛е鴮ξ磥淼拿篮勉裤胶蛨远ㄐ拍?，來到吳江開發(fā)區(qū)再創(chuàng)業(yè)，希望為吳江乃至全國的半導體核心配件國產(chǎn)替代進程注入強勁新動力?！睏钫讓氄f。
為打破國內(nèi)氣體質(zhì)量流量計核心部件依賴國外進口局面，楊兆寶自2019年開始了氣體質(zhì)量流量計核心部件（質(zhì)量流量傳感器、微型氣體比例閥）的全面國產(chǎn)化研發(fā)工作。作為國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，其產(chǎn)品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥全面國產(chǎn)、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進口同類產(chǎn)品。
“這項技術我們用了將近5年時間進行突破，我覺得是一件特別驕傲的事情，我們必須要創(chuàng)新，要制造出我們國家自己的東西。”楊兆寶介紹，企業(yè)計劃于2025年3月完成搭載了全國產(chǎn)化的層流差壓式氣體質(zhì)量流量傳感器和壓電式全金屬密封比例閥的高性能氣體質(zhì)量流量計的研發(fā)工作，并開始進行測試，預計將于2025年6月進入小批量試產(chǎn)和市場推廣。
愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有卓越影響力的創(chuàng)新型企業(yè)?！拔覀儗Ｗ⒂趽碛型耆灾髦R產(chǎn)權、全面國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進口產(chǎn)品的技術壟斷，徹底擺脫對進口品牌的依賴，大力提升高端制程和高端科研中國產(chǎn)化替代水平和應用規(guī)模，早日打造出全面國產(chǎn)化的高端可靠的流體測控產(chǎn)品，解決我國基礎科學及高端制程領域所面臨的‘卡脖子’困境。”楊兆寶坦言。
（以上為效果示意圖，以實際建筑為準）
近年來，吳江開發(fā)區(qū)以培育半導體智能裝備產(chǎn)業(yè)為目標，打造半導體智能裝備產(chǎn)業(yè)集群，自今年5月起，半導體智能制造創(chuàng)新港內(nèi)已陸續(xù)進駐12家企業(yè)。愛拓利依托“人才+科技+基金”項目落地，乘著半導體產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的“東風”，將在開發(fā)區(qū)大展拳腳。
“我覺得用‘Family’這個英文單詞來形容吳江開發(fā)區(qū)的親和力最為貼切。吳江開發(fā)區(qū)給了我們企業(yè)‘合適的土壤、養(yǎng)分和陽光’，幫助企業(yè)茁壯成長。未來，愛拓利將組建一支具有創(chuàng)新精神和專業(yè)能力的核心團隊，包括研發(fā)、技術、營銷、運營等方面的人才。同時，重視不同背景的成員的不同視角和思維方式，助力團隊在產(chǎn)品創(chuàng)新和市場開拓中應對各種挑戰(zhàn)?！睏钫讓氄f。
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